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线上直播 更高效的工具来增加半导体失效分析任务中的通量和灵活

作者:admin时间:2024-02-05 02:09浏览:

  电子镜筒配对,以扩展 FIB 在物理失效分析的极限,实现了超大宽度和深度横截面加工的技术突破。Xe 等离子FIB充分满足了

  9月2日,15点,来自TESCAN半导体研发实验室的专家将为大家介绍如何使用更高效的工具和手段来增加半导体失效分析任务中的通量和灵活性。(报告期间有中文翻译)

  1. 从专业视角解读如何通过超大面积和深度的截面加工助力先进封装、微机电器件和光电集成产品的分析检测工作

  9月2日,15:00-16:00扫描下方二维码即刻报名,接收直播链接通知:

  多年从事全球半导体行业失效分析检测研究工作。获得物理工程和纳米技术硕士学位后,于2012年加入TESCAN ORSAY HOLDING,担任Plasma FIB-SEM的应用专家,专注于FIB-SEM、表征和去层/电子探针解决方案。

  其中 TESCAN AMBER X 完美地结合了可用于样品精确加工的氙等离子体 FIB 和无漏磁的超高分辨成像的 SEM,适合于各类材料的显微结构表征。氙等离子体 FIB 与传统的金属镓离子的 FIB 相比,在小束斑的大离子束流上具有明显的优势。因此,它可以用更快的速度完成样品切削工作,并且仍然能完成精细加工和抛光,并实现15 nm的高分辨率成像。

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