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Products● 最快100 points/sec 的高速检测与与探测精度的提高
● 10 V 的电压下,绝缘测试量程高达100GΩ
● 检测探针卡基板的理想之选
飞针测试机FA1815-20,用于检测尖端IT技术中使用的高精度基板。FA1815-20的速度最快高达每秒100点,探针定位精度高,在10V电压下可测试高达100 GΩ的绝缘电阻。它缩短了以探针卡为代表的高精度基板的检测时间,并通过消除潜在缺陷实现了高质量,从而为提高半导体行业的生产率做出了贡献。
手臂数 | 4(上面2,下面2) | |
---|---|---|
可安装探针 | 1172系列,CP1072系列,CP1073系列 | |
测试步数 | 4,000,000步 | |
测试项目・测量范围 | 直流定电流导通测试 | 400.0 mΩ〜1.000 kΩ |
直流定电流电阻测试 | 40.00 μΩ〜400.0 kΩ | |
直流定电压电阻测试 | 4.000 Ω〜40.00 MΩ | |
绝缘电阻测试 | 1.000 kΩ〜100.0 GΩ | |
低电压绝缘电阻测试 | 1.000 MΩ〜 100.0 GΩ | |
交流定电压静电电容测试 | 100.0 fF〜10.00 μF | |
漏电流测试 | 1.000 μA〜100.0 mA | |
高电压电阻测试 | 1.000 kΩ〜100.0 GΩ | |
电容器绝缘测试 | 1.000 kΩ〜250.0 MΩ | |
开路测试 | 4.000 Ω〜4.000 MΩ | |
内埋元件基板测试 | 短路测试 | 400.0 mΩ ~ 40.00 kΩ |
LSI 连接测试 | 0.000 V〜12.00 V | |
交流定电压电阻测试 | 10.00 Ω〜100.0 kΩ | |
交流定电压电容测试 | 10.00 pF〜100.0 μF | |
交流定电压电感测试 | 1.000 μH〜1.000 mH | |
判定范围 | -99.9%〜+999.9%, 或绝对值 | |
移动最小分辨率 | XYZ:0.1 μm | |
最小焊盘间距 | 上面:34 μm(使用CP1075-09时) 下面:44 μm(使用CP1075-09时) | |
最小焊盘尺寸 | 上面:4 μm(使用CP1075-09时) 下面:14 μm(使用CP1075-09时) | |
测试速度 | Max. 100 points/s (0.15 mm移动・4手臂同时探测, 电容法测试时) | |
可测试基板尺寸 | 板厚: 1〜12 mm, 尺寸: 50W × 50D〜340W × 340D mm | |
最大可测试区域 | 340W × 340D mm | |
基板固定 | 通用基板固定治具或者电容测试真空吸盘(选件) | |
所用空气 | 一次侧压力0.5MPa ~ 0.99MPa(干燥空气) 最大耗气量0.3L/min(ANR) | |
电源 | AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V单相 (订货时指定) 50/60 Hz, 5 kVA | |
体积・重量 | 1355W × 1190H × 1265D mm (凸起部除外), 1100 kg±50 kg |
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